Alvo de aço inoxidável OD150*ID123*1091mm do tubo do ODM

Alvo de aço inoxidável OD150*ID123*1091mm 304 de aço inoxidável do tubo

A indústria do semicondutor tem uma palavra, material de alvo, o material do semicondutor pode ser dividido no material da bolacha e o material de embalagem, material de embalagem tem um obstáculo técnico relativamente baixo comparado aos materiais de fabricação da bolacha. Há sete tipos dos materiais e dos produtos químicos do semicondutor envolvidos na produção de bolachas, uma de que é o material de alvo engasgar. O material de alvo é o material de alvo bombardeado por partículas carregadas de alta velocidade. Mudando materiais de alvo diferentes (tais como de alumínio, de cobre, de aço inoxidável, o titânio, o alvo do níquel, etc.), os sistemas diferentes do filme (tais como o filme superhard, desgaste-resistente, anticorrosivo da liga, etc.) podem ser obtidos.

A pureza é um dos índices principais do desempenho do material de alvo, porque a pureza do material de alvo tem uma grande influência nas propriedades do filme. Contudo, na aplicação prática, as exigências da pureza do material de alvo são igualmente diferentes. As impurezas no material contínuo e no vapor do oxigênio e de água nos poros são as fontes principais de depósito do filme. A fim reduzir a porosidade no sólido do material de alvo e melhorar as propriedades do filme engasgado, o material de alvo é exigido geralmente para ter uma densidade mais alta. A densidade do material de alvo afeta não somente a taxa engasgar mas igualmente o elétrico e propriedades óticas dos filmes. Mais alta a densidade do material de alvo, melhor o desempenho do filme. Além, a densidade e a força do material de alvo podem ser melhoradas de modo que o material de alvo possa melhor carregar o esforço térmico no processo engasgar. A densidade é igualmente um dos índices do desempenho chave do material de alvo.